ASTM F996-98(2003)
Стандартный метод испытаний для разделения сдвига порогового напряжения МОП-транзистора, индуцированного ионизирующим излучением, на компоненты из-за захваченных оксидом отверстий и состояний интерфейса с использованием подпороговых вольт-амперных характеристик

Стандартный №

ASTM F996-98(2003)

Дата публикации

1998

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

состояние

быть заменен

быть заменен

ASTM F996-10

Последняя версия

ASTM F996-11(2018)

сфера применения

Электрические свойства затворных и полевых оксидов изменяются под действием ионизирующего излучения. Эффекты ионизирующего излучения, зависящие от времени и мощности дозы, можно определить путем сравнения сдвигов напряжения до и после облучения, &#ΔVot и&#Δ Вит. Этот метод испытаний позволяет оценить реакцию МОП-транзисторов на ионизирующее излучение и изолирующие паразитные МОП-транзисторы. Измеренные сдвиги напряжения, &#ΔVot и&#Δ Vit может обеспечить измерение эффективности обработки изменений реакции на ионизирующее излучение. Этот метод можно использовать для мониторинга реакции общей дозы технологического процесса. 1.1 Этот метод испытаний охватывает использование метода подпорогового разделения зарядов для анализа деградации диэлектрика затвора под ионизирующим излучением в поле металл-оксид-полупроводник. эффектный транзистор (MOSFET) и изолирующий диэлектрик в паразитном MOSFET. Подпороговый метод используется для разделения инверсионного сдвига напряжения, вызванного ионизирующим излучением, V INV, на сдвиги напряжения, вызванные захваченным зарядом оксида, Vot и интерфейсными ловушками, Vit. В этом методе используется зависимость тока стока до и после облучения от характеристик напряжения затвора в подпороговой области МОП-транзистора. 1.2 Приведены процедуры для измерения подпороговых вольт-амперных характеристик МОП-транзистора и расчета результатов. 1.3 Применение этого теста Метод требует, чтобы МОП-транзистор имел контакт с подложкой (телом). 1.4 Подпороговые кривые истока и стока МОП-транзистора до и после облучения должны следовать экспоненциальной зависимости от напряжения затвора в течение как минимум двух декад тока. 1.5 Значения, приведенные в единицах СИ, следует рассматривать как стандартные. Никакие другие единицы измерения не включены в этот метод испытаний. 1.6 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM F996-98(2003) История

• 2018 ASTM F996-11(2018) Стандартный метод испытаний для разделения сдвига порогового напряжения МОП-транзистора, индуцированного ионизирующим излучением, на компоненты из-за захваченных оксидом отверстий и состояний интерфейса с использованием подпорогового тока –V
• 2011 ASTM F996-11 Стандартный метод испытаний для разделения сдвига порогового напряжения МОП-транзистора, индуцированного ионизирующим излучением, на компоненты из-за захваченных оксидом отверстий и состояний интерфейса с использованием подпороговых вольт-амперных характеристик
• 2010 ASTM F996-10 Стандартный метод испытаний для разделения сдвига порогового напряжения МОП-транзистора, индуцированного ионизирующим излучением, на компоненты из-за захваченных оксидом отверстий и состояний интерфейса с использованием подпороговых вольт-амперных характеристик
• 1998 ASTM F996-98(2003) Стандартный метод испытаний для разделения сдвига порогового напряжения МОП-транзистора, индуцированного ионизирующим излучением, на компоненты из-за захваченных оксидом отверстий и состояний интерфейса с использованием подпороговых вольт-амперных характеристик
• 1998 ASTM F996-98 Стандартный метод испытаний для разделения сдвига порогового напряжения МОП-транзистора, индуцированного ионизирующим излучением, на компоненты из-за захваченных оксидом отверстий и состояний интерфейса с использованием подпороговых вольт-амперных характеристик