ASTM E1249-10 Стандартная практика минимизации ошибок дозиметрии при испытаниях на радиационную стойкость кремниевых электронных устройств с использованием источников Co-60

Стандартный №: ASTM E1249-10
Дата публикации: 2010
Разместил: American Society for Testing and Materials (ASTM)
состояние: быть заменен
быть заменен: ASTM E1249-15
Последняя версия: ASTM E1249-15(2021)

сфера применения: Разделение измерения твердости Co-60 на пять частей: Равновесную поглощенную дозу следует измерять с помощью дозиметра, такого как TLD, расположенного рядом с испытуемым устройством. Альтернативно, дозиметр можно облучать в положении устройства до или после облучения устройства. Эту поглощенную дозу, измеренную дозиметром, необходимо преобразовать в равновесную поглощенную дозу в интересующем материале внутри критической области внутри испытуемого устройства, например, в оксиде SiO 2 затвора МОП-устройства. Должна быть рассмотрена поправка на эффекты увеличения поглощенной дозы. Эта поправка зависит от энергии фотонов, попадающих в тестируемое устройство. Должна быть установлена корреляция между поглощенной дозой в критической области (например, оксидом затвора, упомянутым в 4.1.2) и некоторым электрически важным эффектом (таким как захват заряда на границе раздела Si/SiO2, что проявляется в сдвиге порогового напряжения ). Затем следует провести экстраполяцию результатов испытания на результаты, которые можно было бы ожидать от испытуемого устройства в реальных условиях эксплуатации. 1.1 Эта практика охватывает рекомендуемые процедуры использования дозиметров, таких как термолюминесцентные дозиметры (ТЛД), для определить поглощенную дозу в интересующей области внутри электронного устройства, облученного источником Co-60. Источники Co-60 обычно используются для тестирования поглощенной дозы кремниевых электронных устройств. Примечание 18212; Это тестирование поглощенной дозы иногда называют «тестированием полной дозы». чтобы отличить его от «тестирования мощности дозы». Примечание 28212;Действие ионизирующего излучения на некоторые типы электронных устройств может зависеть как от поглощенной дозы, так и от мощности поглощенной дозы; то есть эффекты могут быть разными, если устройство облучается одним и тем же уровнем поглощенной дозы при разных мощностях поглощенной дозы. Эффекты мощности поглощенной дозы не рассматриваются в этой практике, но их следует учитывать при испытаниях на радиационную стойкость. 1.2 Основная потенциальная ошибка измерения поглощенной дозы в электронных устройствах возникает из-за эффектов неравновесного энерговыделения вблизи границ раздела материалов. 1.3 Приведены сведения об эффектах увеличения поглощенной дозы вблизи границ раздела материалов. Подчеркнута чувствительность таких эффектов к низкоэнергетическим компонентам энергетического спектра фотонов Co-60. 1.4 Дается краткое описание типичных источников Co-60 с особым акцентом на наличие низкоэнергетических составляющих в энергетическом спектре фотонов, выходных из таких источников. 1.5 Приведены процедуры минимизации низкоэнергетических составляющих энергетического спектра фотонов от источников Co-60 с использованием фильтрации. Для такой фильтрации рекомендуется использовать коробчатый фильтр. 1.6 Приведены сведения об эффектах повышения поглощенной дозы, зависящих от ориентации устройства относительно источника Co-60. 1.7 Использование спектральной фильтрации и соответствующей ориентации устройства обеспечивает радиационную среду, в которой поглощенную дозу в чувствительной области электронного устройства можно рассчитать в определенных пределах погрешности без детального знания ни конструкции устройства, ни энергетического спектра фотонов источника. и, следовательно, без знания подробностей эффектов увеличения поглощенной дозы. 1.8 Рекомендации данной практики в первую очередь применимы к поштучным испытаниям электронных устройств. ......

ASTM E1249-10 Ссылочный документ

ASTM E1250 Стандартный метод испытаний применения ионизационных камер для оценки низкоэнергетической гамма-компоненты облучателей на основе кобальта-60, используемых при радиационно-стойких испытаниях кремниевых электронных устройств
ASTM E170 Стандартная терминология, относящаяся к радиационным измерениям и дозиметрии
ASTM E666 Стандартная практика расчета поглощенной дозы гамма- или рентгеновского излучения
ASTM E668 Стандартная практика применения систем термолюминесцентно-дозиметрии (ТЛД) для определения поглощенной дозы при испытаниях электронных устройств на радиационную стойкость

ASTM E1249-10 История

2021 ASTM E1249-15(2021) Стандартная практика минимизации ошибок дозиметрии при испытаниях на радиационную стойкость кремниевых электронных устройств с использованием источников Co-60
2015 ASTM E1249-15 Стандартная практика минимизации ошибок дозиметрии при испытаниях на радиационную стойкость кремниевых электронных устройств с использованием источников Co-60
2010 ASTM E1249-10 Стандартная практика минимизации ошибок дозиметрии при испытаниях на радиационную стойкость кремниевых электронных устройств с использованием источников Co-60
2000 ASTM E1249-00(2005) Стандартная практика минимизации ошибок дозиметрии при испытаниях на радиационную стойкость кремниевых электронных устройств с использованием источников Co-60
2000 ASTM E1249-00 Стандартная практика минимизации ошибок дозиметрии при испытаниях на радиационную стойкость кремниевых электронных устройств с использованием источников Co-60