ASTM F996-11(2018) Стандартный метод испытаний для разделения сдвига порогового напряжения МОП-транзистора, индуцированного ионизирующим излучением, на компоненты из-за захваченных оксидом отверстий и состояний интерфейса с использованием подпорогового тока –V

Стандартный №: ASTM F996-11(2018)
Дата публикации: 2018
Разместил: American Society for Testing and Materials (ASTM)
Последняя версия: ASTM F996-11(2018)

сфера применения: 1.1 Настоящий метод испытаний охватывает использование метода подпорогового разделения зарядов для анализа деградации ионизирующим излучением диэлектрика затвора в металл-оксид-полупроводниковом полевом транзисторе (МОП-транзистор) и изолирующего диэлектрика в паразитном МОП-транзисторе.2,3,4 Подпороговый метод используется для разделения инверсионного сдвига напряжения, ∆VINV, вызванного ионизирующим излучением, на сдвиги напряжения из-за захваченного заряда оксида, ∆Vot, и ловушек на границе раздела, ∆V it. Этот метод использует сток до и после облучения для получения характеристик тока источника в зависимости от напряжения затвора в подпороговой области МОП-транзистора. 1.2 Приведены методики измерения подпороговых вольт-амперных характеристик МОП-транзистора и расчета результатов. 1.3 Применение этого метода испытаний требует, чтобы МОП-транзистор имел контакт с подложкой (корпусом). 1.4 Подпороговые кривые истока или стока МОП-транзистора до и после облучения должны следовать экспоненциальной зависимости от напряжения на затворе в течение как минимум двух декад тока. 1.5 Значения, указанные в единицах СИ, следует считать стандартными. Никакие другие единицы измерения в настоящий стандарт не включены. 1.6 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности, охраны труда и окружающей среды, а также определение применимости нормативных ограничений перед использованием. 1.7 Настоящий международный стандарт был разработан в соответствии с международно признанными принципами стандартизации, установленными в Решении о принципах разработки международных стандартов, руководств и рекомендаций, изданном Комитетом Всемирной торговой организации по техническим барьерам в торговле (ТБТ).

ASTM F996-11(2018) Ссылочный документ

ASTM E1249 Стандартная практика минимизации ошибок дозиметрии при испытаниях на радиационную стойкость кремниевых электронных устройств с использованием источников Co-60*， 2021-02-01 Обновление
ASTM E1894 Стандартное руководство по выбору дозиметрических систем для применения в импульсных источниках рентгеновского излучения
ASTM E666 Стандартная практика расчета поглощенной дозы гамма- или рентгеновского излучения
ASTM E668 Стандартная практика применения систем термолюминесцентно-дозиметрии (ТЛД) для определения поглощенной дозы при испытаниях электронных устройств на радиационную стойкость*， 2020-07-01 Обновление

ASTM F996-11(2018) История

2018 ASTM F996-11(2018) Стандартный метод испытаний для разделения сдвига порогового напряжения МОП-транзистора, индуцированного ионизирующим излучением, на компоненты из-за захваченных оксидом отверстий и состояний интерфейса с использованием подпорогового тока –V
2011 ASTM F996-11 Стандартный метод испытаний для разделения сдвига порогового напряжения МОП-транзистора, индуцированного ионизирующим излучением, на компоненты из-за захваченных оксидом отверстий и состояний интерфейса с использованием подпороговых вольт-амперных характеристик
2010 ASTM F996-10 Стандартный метод испытаний для разделения сдвига порогового напряжения МОП-транзистора, индуцированного ионизирующим излучением, на компоненты из-за захваченных оксидом отверстий и состояний интерфейса с использованием подпороговых вольт-амперных характеристик
1998 ASTM F996-98(2003) Стандартный метод испытаний для разделения сдвига порогового напряжения МОП-транзистора, индуцированного ионизирующим излучением, на компоненты из-за захваченных оксидом отверстий и состояний интерфейса с использованием подпороговых вольт-амперных характеристик
1998 ASTM F996-98 Стандартный метод испытаний для разделения сдвига порогового напряжения МОП-транзистора, индуцированного ионизирующим излучением, на компоненты из-за захваченных оксидом отверстий и состояний интерфейса с использованием подпороговых вольт-амперных характеристик