ASTM F996-98
Стандартный метод испытаний для разделения сдвига порогового напряжения МОП-транзистора, индуцированного ионизирующим излучением, на компоненты из-за захваченных оксидом отверстий и состояний интерфейса с использованием подпороговых вольт-амперных характеристик

Стандартный №

ASTM F996-98

Дата публикации

1998

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

состояние

быть заменен

быть заменен

ASTM F996-98(2003)

Последняя версия

ASTM F996-11(2018)

сфера применения

1.1 Этот метод испытаний охватывает использование метода подпорогового разделения зарядов для анализа деградации ионизирующего излучения диэлектрика затвора в полевом транзисторе металл-оксид-полупроводник (МОП-транзистор) и изолирующего диэлектрика в паразитном МОП-транзисторе. Подпороговый метод используется для разделения инверсионного сдвига напряжения, индуцированного ионизирующим излучением, дельта]VINV, на сдвиги напряжения из-за захваченного заряда оксида, дельта]Vot и ловушек на границе раздела, дельта]Vit. Этот метод использует сток до и после облучения для получения характеристик тока источника в зависимости от напряжения затвора в подпороговой области МОП-транзистора. 1.2 Приведены методики измерения подпороговых вольт-амперных характеристик МОП-транзистора и расчета результатов. 1.3 Применение этого метода испытаний требует, чтобы МОП-транзистор имел контакт с подложкой (корпусом). МОП-транзисторы по технологии «кремний на изоляторе» (SOI) должны иметь межкорпусные соединения. 1.4 Подпороговые кривые истока или стока МОП-транзистора до и после облучения должны следовать экспоненциальной зависимости от напряжения на затворе в течение как минимум двух декад тока. 1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM F996-98 История

• 2018 ASTM F996-11(2018) Стандартный метод испытаний для разделения сдвига порогового напряжения МОП-транзистора, индуцированного ионизирующим излучением, на компоненты из-за захваченных оксидом отверстий и состояний интерфейса с использованием подпорогового тока –V
• 2011 ASTM F996-11 Стандартный метод испытаний для разделения сдвига порогового напряжения МОП-транзистора, индуцированного ионизирующим излучением, на компоненты из-за захваченных оксидом отверстий и состояний интерфейса с использованием подпороговых вольт-амперных характеристик
• 2010 ASTM F996-10 Стандартный метод испытаний для разделения сдвига порогового напряжения МОП-транзистора, индуцированного ионизирующим излучением, на компоненты из-за захваченных оксидом отверстий и состояний интерфейса с использованием подпороговых вольт-амперных характеристик
• 1998 ASTM F996-98(2003) Стандартный метод испытаний для разделения сдвига порогового напряжения МОП-транзистора, индуцированного ионизирующим излучением, на компоненты из-за захваченных оксидом отверстий и состояний интерфейса с использованием подпороговых вольт-амперных характеристик
• 1998 ASTM F996-98 Стандартный метод испытаний для разделения сдвига порогового напряжения МОП-транзистора, индуцированного ионизирующим излучением, на компоненты из-за захваченных оксидом отверстий и состояний интерфейса с использованием подпороговых вольт-амперных характеристик