1.1 Настоящий метод испытаний охватывает неразрушающую процедуру определения того, находятся ли размеры контрольных надрезов на кремниевых пластинах в установленных пределах.
1.2 Значения, указанные в единицах СИ, следует рассматривать как стандартные. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации.
1.3 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F1152-93 История
2002ASTM F1152-02 Метод испытания размера надреза кремниевой пластины
1993ASTM F1152-93(2001) Стандартный метод определения размеров надрезов на кремниевых пластинах
1993ASTM F1152-93 Стандартный метод определения размеров надрезов на кремниевых пластинах