ASTM F1152-93(2001)
Стандартный метод определения размеров надрезов на кремниевых пластинах

Стандартный №

ASTM F1152-93(2001)

Дата публикации

1993

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

состояние

быть заменен

быть заменен

ASTM F1152-02

Последняя версия

ASTM F1152-02

сфера применения

1.1 Настоящий метод испытаний охватывает неразрушающую процедуру определения того, находятся ли размеры контрольных надрезов на кремниевых пластинах в установленных пределах.

1.2 Значения, указанные в единицах СИ, следует рассматривать как стандартные. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации.

1.3 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM F1152-93(2001) Ссылочный документ

• ASTM E122 Стандартная практика расчета размера выборки для оценки с заданной допустимой погрешностью среднего значения характеристики партии или процесса*， 2000-10-10 Обновление

ASTM F1152-93(2001) История

• 2002 ASTM F1152-02 Метод испытания размера надреза кремниевой пластины
• 1993 ASTM F1152-93(2001) Стандартный метод определения размеров надрезов на кремниевых пластинах
• 1993 ASTM F1152-93 Стандартный метод определения размеров надрезов на кремниевых пластинах

стандарты и спецификации