DIN 32567-4:2015
Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 4. Образцы для оптических процедур.
- Стандартный №
- DIN 32567-4:2015
- Дата публикации
- 2015
- Разместил
- German Institute for Standardization
- состояние
- быть заменен
- DIN 32567-4:2015-06
- Последняя версия
- DIN 32567-4:2015-06
- заменять
- DIN 32567-4:2014
DIN 32567-4:2015 Ссылочный документ
- DIN 32564-1:2004 Производственное оборудование для микросистем. Термины и определения. Часть 1. Общие положения по микросистемной технике.
- DIN 32567-1:2015 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 1. Качественная оценка влияния материалов и конкретных процедур.
- DIN 32567-2:2014 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 2. Образцы для тактильных процедур.
- ISO 8255-1:2011 Микроскопы. Покровные стекла. Часть 1. Допуски на размеры, толщина и оптические свойства.
DIN 32567-4:2015 История
- 2015 DIN 32567-4:2015-06 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 4. Образцы для оптических процедур.
- 2015 DIN 32567-4:2015 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 4. Образцы для оптических процедур.
- 1970 DIN 32567-4 E:2014-11
- 0000 DIN 32567-4:2014
