DIN 32567-4:2015-06 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 4. Образцы для оптических процедур.
2015DIN 32567-4:2015-06 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 4. Образцы для оптических процедур.
2015DIN 32567-4:2015 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 4. Образцы для оптических процедур.