DIN 32567-4 E:2014-11 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 4. Образцы для оптических процедур.
2015DIN 32567-4:2015-06 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 4. Образцы для оптических процедур.
2015DIN 32567-4:2015 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 4. Образцы для оптических процедур.
1970DIN 32567-4 E:2014-11 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 4. Образцы для оптических процедур.