ASTM F1711-96(2016)
Стандартная практика измерения сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием метода четырехточечного зонда

Стандартный №

ASTM F1711-96(2016)

Дата публикации

1996

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Последняя версия

ASTM F1711-96(2016)

сфера применения

5.1 Применение метода испытаний F390 к большим подложкам для плоских панелей представляет ряд серьезных трудностей, не предусмотренных при разработке этого стандарта. Встречаются следующие проблемы. 5.1.1. Метод четырехточечного зонда может оказаться разрушительным для измеряемой тонкой пленки. Поэтому отбор проб следует проводить вблизи края или угла пластины, где пленка является расходным материалом. Затем для определения истинного сопротивления листа требуются специальные геометрические поправочные коэффициенты. 5.1.2 Метод испытаний F390 ограничен обычным коллинеарным расположением датчиков, но в определенных обстоятельствах полезны расположенные в шахматном порядке коллинеарные и квадратные матрицы. Поправочные коэффициенты необходимы для учета нетрадиционных схем расположения датчиков. 5.1.3 Метод испытаний F390 предполагает прецизионную схему испытаний, при которой крепление зонда и образец жестко расположены. Не существует соответствующего оборудования для тестирования больших стеклянных или пластиковых подложек. Действительно, при изготовлении плоских дисплеев часто оператор держит датчик в руке. 5.1.4. Учитывая условия, указанные в 5.1.3, трудно гарантировать, что равномерное расстояние между датчиками не будет нарушено небрежным обращением с оборудованием. Описанная фазированная квадратная решетка усредняет ошибки размещения датчиков. 5.1.5. Эта практика оценивается как точная на следующих уровнях. Однако в противном случае приемлемая точность может ухудшиться из-за раскачивания зонда (см. 8.6.4). 5.1.5.1 В качестве экспертного метода, при котором зонд и измерительная аппаратура проверяются и аттестуются перед использованием в соответствии с процедурами метода испытаний F390, параграф 7, и настоящей практики, параграф 8: стандартное отклонение, с, от измеренного значения. поверхностное сопротивление, RS, составляет &#≤ 0,01 рупий. 5.1.5.2 В качестве рутинного метода с периодической аттестацией зонда и измерительной аппаратуры в соответствии с процедурами Метода испытаний F390, параграф 7 и настоящей практики, параграф 8: стандартное отклонение, с, от измеренного поверхностного сопротивления, RS, это &#≤ 0,02 рупий. 1.1 В данной методике описаны методы измерения листового электрического сопротивления напыленных тонких проводящих пленок, нанесенных на большие изолирующие подложки, используемые при изготовлении плоскопанельной информации......

ASTM F1711-96(2016) Ссылочный документ

• ASTM F390 Стандартный метод испытаний листового сопротивления тонких металлических пленок с помощью коллинеарной четырехзондовой матрицы*， 1998-11-01 Обновление

ASTM F1711-96(2016) История

• 1996 ASTM F1711-96(2016) Стандартная практика измерения сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием метода четырехточечного зонда
• 1996 ASTM F1711-96(2008) Стандартная практика измерения сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием метода четырехточечного зонда
• 1996 ASTM F1711-96(2002) Стандартная практика измерения сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием четырехточечного зонда
• 1996 ASTM F1711-96 Стандартная практика измерения сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием четырехточечного зонда