ASTM F1711-96 Стандартная практика измерения сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием четырехточечного зонда
1.1 В данном методе описаны методы измерения листового электрического сопротивления напыленных тонких проводящих пленок, нанесенных на большие изолирующие подложки, используемых при изготовлении плоских информационных дисплеев. Предполагается, что толщина проводящей тонкой пленки намного меньше расстояния между контактными зондами, используемыми для измерения поверхностного сопротивления. 1.2 Настоящий стандарт предназначен для использования с методом испытаний F 390. 1.3 С помощью этой методики можно измерять сопротивление листов в диапазоне от 0,5 до 5000 Ом на квадрат. Поверхностное сопротивление предполагается равномерным в исследуемой области. 1.4 Данная практика применима только к плоским поверхностям. 1.5 Расстояние между контактами датчиков составляет от 1,5 до 5,0 мм включительно (от 0,059 до 0,197 дюйма включительно). 1.6 Используемый в данной практике метод потенциально разрушителен для тонкой пленки в непосредственной близости от места проведения измерения. Таким образом, тестируемые области должны соответствовать функциональной части подложки, но должны быть удалены от критических активных областей. Этот метод подходит для определения характеристик макетов тестовых подложек, обрабатываемых одновременно с интересующими подложками. 1.7 Значения, указанные в единицах СИ, следует считать стандартными. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации. 1.8 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F1711-96 История
1996ASTM F1711-96(2016) Стандартная практика измерения сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием метода четырехточечного зонда
1996ASTM F1711-96(2008) Стандартная практика измерения сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием метода четырехточечного зонда
1996ASTM F1711-96(2002) Стандартная практика измерения сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием четырехточечного зонда
1996ASTM F1711-96 Стандартная практика измерения сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием четырехточечного зонда