ASTM F1711-96(2002) Стандартная практика измерения сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием четырехточечного зонда
1.1 В данном методе описаны методы измерения листового электрического сопротивления напыленных тонких проводящих пленок, нанесенных на большие изолирующие подложки, используемых при изготовлении плоских информационных дисплеев. Предполагается, что толщина проводящей тонкой пленки намного меньше, чем расстояние между контактными зондами, используемыми для измерения сопротивления листа. 1.2 Настоящий стандарт предназначен для использования с методом испытаний F 390.1.3 Удельное сопротивление листа в диапазоне от 0,5 до С помощью этого метода можно измерить сопротивление 5000 Ом на квадрат. Сопротивление пластины предполагается равномерным в зоне зондирования. 1.4 Этот метод применим только к плоским поверхностям. 1.5 Расстояние между контактами зонда составляет от 1,5 мм до 5,0 мм включительно (от 0,059 до 0,197 включительно). Этот метод охватывается этим методом. 1.6 Метод в этой практике потенциально разрушительно для тонкой пленки в непосредственной близости от места измерения. Таким образом, тестируемые области должны соответствовать функциональной части подложки, но должны быть удалены от критических активных областей. Этот метод пригоден для определения характеристик макетов тестовых подложек, обрабатываемых одновременно с интересующими подложками. 1.7 Значения, указанные в единицах СИ, следует рассматривать как стандартные. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации. 1.8 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F1711-96(2002) История
1996ASTM F1711-96(2016) Стандартная практика измерения сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием метода четырехточечного зонда
1996ASTM F1711-96(2008) Стандартная практика измерения сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием метода четырехточечного зонда
1996ASTM F1711-96(2002) Стандартная практика измерения сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием четырехточечного зонда
1996ASTM F1711-96 Стандартная практика измерения сопротивления тонкопленочных проводников при производстве плоских дисплеев с использованием четырехточечного зонда