SJ/T 11491-2015
Методы испытаний для измерения содержания межузельного кислорода в кремнии методом короткобазовой инфракрасной абсорбционной спектрометрии (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- SJ/T 11491-2015
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2015
- Разместил
- Professional Standard - Electron
- Последняя версия
- SJ/T 11491-2015
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет определение содержания межузельного кислорода в кремнии методом короткобазовой инфракрасной спектроскопии. Настоящий стандарт применим для измерения содержания межузельного кислорода в монокристалле кремния n-типа и монокристалле кремния p-типа с низким удельным сопротивлением методом короткобазового инфракрасного поглощения при комнатной температуре. Тест, измеряющий содержание кислорода в эффективном диапазоне от 1 × 10 атм до максимальной растворимости межузельного кислорода в твердом состоянии в монокристаллах кремния.
SJ/T 11491-2015 История
- 2015 SJ/T 11491-2015 Методы испытаний для измерения содержания межузельного кислорода в кремнии методом короткобазовой инфракрасной абсорбционной спектрометрии
Специальные темы по стандартам и нормам
инфракрасная базовая линия
Инфракрасная абсорбционная спектроскопия органических веществ
Пик спектра инфракрасного поглощения
Спектр инфракрасного поглощения + пик
Пик спектра инфракрасного поглощения
Спектр инфракрасного поглощения фенола
Инфракрасный спектр поглощения сложного эфира
Спектр поглощения инфракрасного материала
инфракрасная базовая линия
Спектр инфракрасного поглощения алкинов
Инфракрасный + базовый уровень
Спектр инфракрасного поглощения радона
стандарты и спецификации
ASTM F121-83e1 Стандартный метод определения содержания межузельного кислорода в монокристаллическом кремнии методом инфракрасного поглощения
ASTM F1366-92(1997)e1 Стандартный метод измерения концентрации кислорода в сильнолегированных кремниевых подложках методом вторичной ионной масс-спектрометрии
ASTM F1366-92(2002 Стандартный метод определения концентрации кислорода в сильнолегированных кремниевых подложках с помощью вторичной ионной масс-спектрометрии
ASTM F1188-00 Стандартный метод определения содержания межузельного атомарного кислорода в кремнии методом инфракрасного поглощения
ASTM F1188-02 Стандартный метод определения содержания атомарного кислорода в кремнии методом инфракрасного поглощения с короткой базовой линией
SJ 20636-1997 Метод определения содержания кислорода и углерода в тонкой кремниевой пластине большого диаметра в микрозоне для использования в ИС
ASTM F1189-88 Измерение содержания интерстициального кислорода в двухсторонних полированных кремниевых пластинах с использованием компьютерной инфракрасной спектроскопии
ASTM F951-01 Стандартный метод испытаний для определения радиального межузельного изменения содержания кислорода в кремниевых пластинах
ASTM F951-96 Стандартный метод испытаний для определения радиального межузельного изменения содержания кислорода в кремниевых пластинах
ASTM F951-02 Метод испытания для определения изменения содержания кислорода в радиальном направлении кремниевых пластин