ASTM E2735-14
Стандартное руководство по выбору калибровок, необходимых для рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии 40;XPS41; Эксперименты

Стандартный №

ASTM E2735-14

Дата публикации

2014

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

состояние

быть заменен

быть заменен

ASTM E2735-14(2020)

Последняя версия

ASTM E2735-14(2020)

сфера применения

4.1. Целью настоящего руководства является помощь пользователям и аналитикам в выборе процедур стандартизации, соответствующих определенному эксперименту XPS. Эти эксперименты могут быть основаны, например, на анализе разрушения материала, определении химии поверхности твердого тела или профиле состава тонкой пленки или покрытия. Будет обобщен ряд вариантов с указанием стандартов, связанных с конкретными требованиями к информации. ISO 15470 и ISO 10810 также помогают пользователям XPS при планировании экспериментов с типичными образцами. Комитет ASTM E42 и ISO TC201 находятся в постоянном процессе обновления и добавления стандартов и руководств. Текущий список стандартов рекомендуется посетить на веб-сайтах ASTM и ISO. 1.1 В этом руководстве описывается подход, позволяющий пользователям и аналитикам определять калибровки и стандарты, полезные для получения значимых данных о химии поверхности с помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (XPS), а также оптимизировать прибор для конкретных целей анализа и данных. время сбора. 1.2. Это руководство предлагает организованный сбор информации или ряд вариантов и не рекомендует какой-либо конкретный образ действий. Настоящее руководство не может заменить образование или опыт и должно использоваться в сочетании с профессиональным суждением. Не все аспекты настоящего руководства применимы при любых обстоятельствах. 1.3. Значения, указанные в единицах СИ, следует рассматривать как стандартные. Никакие другие единицы измерения в настоящий стандарт не включены. 1.4. Настоящий стандарт не предназначен для представления или замены стандарта оказания медицинской помощи, по которому должна оцениваться адекватность конкретной профессиональной услуги, и этот документ не должен применяться без учета особенностей проекта. множество уникальных аспектов. Слово «Стандарт» в названии этого документа означает только то, что документ был одобрен в рамках процесса консенсуса ASTM. 1.5. Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM E2735-14 Ссылочный документ

• ASTM E1078 Стандартное руководство по процедурам подготовки и крепления образцов при анализе поверхности
• ASTM E1127 Стандартное руководство по профилированию глубины в электронной оже-спектроскопии
• ASTM E1217 Стандартная практика определения площади образца, вносящей вклад в детектируемый сигнал, в электронных оже-спектрометрах и некоторых рентгеновских фотоэлектронных спектрометрах
• ASTM E1523 Стандартное руководство по методам контроля заряда и привязки заряда в рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии
• ASTM E1577 Стандартное руководство по составлению отчетов о параметрах ионного пучка, используемых при анализе поверхности
• ASTM E1634 Стандартное руководство по измерению глубины кратера распыления
• ASTM E1636 Стандартная практика аналитического описания данных о профиле глубины распыления с помощью расширенной логистической функции
• ASTM E1829 Стандартное руководство по обращению с образцами перед анализом поверхности
• ASTM E2108 Стандартная практика калибровки шкалы энергии связи электронов рентгеновского фотоэлектронного спектрометра
• ASTM E995 Стандартное руководство по методам вычитания фона в электронной оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии
• ASTM E996 Стандартная практика представления данных в электронной оже-спектроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии
• ISO 10810 Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Руководство по анализу.
• ISO 14606 Химический анализ поверхности. Профилирование глубины распыления. Оптимизация с использованием слоистых систем в качестве эталонных материалов.
• ISO 14701 Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Измерение толщины оксида кремния.
• ISO 14976 Формат передачи данных химического анализа поверхности Техническое исправление 1
• ISO 15470 Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Описание выбранных параметров работы прибора.
• ISO 15472 Химический анализ поверхности - Рентгеновские фотоэлектронные спектрометры - Калибровка энергетических шкал
• ISO 18115-1 Химический анализ поверхности. Словарь. Часть 1. Общие термины и термины, используемые в спектроскопии.
• ISO 18115-2 Химический анализ поверхности. Словарь. Часть 2. Термины, используемые в сканирующей зондовой микроскопии.
• ISO 18116 Химический анализ поверхности. Рекомендации по подготовке и креплению образцов для анализа
• ISO 18117  Химический анализ поверхности. Обращение с образцами перед анализом.
• ISO 18118 Химический анализ поверхности - Электронная оже-спектроскопия и рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия - Руководство по использованию экспериментально определенных коэффициентов относительной чувствительности для количественного анализа однородных материалов.
• ISO 18516 Химический анализ поверхности. Определение поперечного разрешения и резкости лучевыми методами в диапазоне от нанометров до микрометров.
• ISO 19318 Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Отчет о методах, используемых для контроля заряда и коррекции заряда.
• ISO 20903 Химический анализ поверхности. Электронная оже-спектроскопия и рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Методы, используемые для определения интенсивностей пиков, и информация, необходимая для представления результатов.
• ISO 21270  Химический анализ поверхности. Рентгеновские фотоэлектронные и электронные оже-спектрометры. Линейность шкалы интенсивности.
• ISO 24237  Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Повторяемость и постоянство шкалы интенсивности.
• ISO/TR 15969 Химический анализ поверхности. Профилирование глубины. Измерение глубины распыления.
• ISO/TR 18392 Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Методы определения фона.
• ISO/TR 19319 Химический анализ поверхности. Фундаментальные подходы к определению латерального разрешения и резкости в лучевых методах.

ASTM E2735-14 История

• 2020 ASTM E2735-14(2020) Стандартное руководство по выбору калибровок, необходимых для экспериментов по рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (XPS)
• 2014 ASTM E2735-14 Стандартное руководство по выбору калибровок, необходимых для рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии 40;XPS41; Эксперименты
• 2013 ASTM E2735-13 Стандартное руководство по выбору калибровок, необходимых для экспериментов по рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (XPS)