1.1 В этом руководстве представлена информация, необходимая для характеристики ионных пучков, используемых при анализе поверхности. 1.2 Настоящее руководство не охватывает всю информацию, необходимую для определения профиля глубины распыления (см. справочные документы), указания каких-либо свойств образца, кроме нормали к его поверхности, и обсуждения обоснования выбора конкретного набора параметров ионного пучка (1). В этом руководстве предполагается, что поток ионов имеет уникальное направление, то есть представляет собой пучок ионов, а не широкий спектр векторов скорости, более типичный для плазмы. 1.3 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM E1577-95(2000) История
2011ASTM E1577-11 Стандартное руководство по составлению отчетов о параметрах ионного пучка, используемых при анализе поверхности
2004ASTM E1577-04 Стандартное руководство по составлению отчетов о параметрах ионного пучка, используемых при анализе поверхности
1995ASTM E1577-95(2000) Стандартное руководство по составлению отчетов о параметрах ионного пучка, используемых при анализе поверхности