ISO 19318:2021
Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Отчет о методах, используемых для контроля заряда и коррекции заряда.

Стандартный №

ISO 19318:2021

Дата публикации

2021

Разместил

International Organization for Standardization (ISO)

Последняя версия

ISO 19318:2021

сфера применения

Категория параметров	Необходимая информация	Пример
Информация о примере	Морфология/размер/метод фиксации/предварительная обработка
Состояние прибора	Энергия/разрешение рентгеновского источника/анализатора	Монохроматический Al Kα, энергия 20 эВ
Управление зарядом	Основа выбора метода/настройка параметров	Напряжение электронной пушки -5 В, ток 20 мА

---

Сравнение методов коррекции заряда

В стандарте подробно сравниваются пять основных методов коррекции:

1. Метод углеродного стандарта: Применим к образцам, содержащим углеродные загрязнители, но следует уделять внимание диапазону эталонных значений 284,6–285,0 эВ
2. Метод осаждения золота: Толщина слоя золота должна контролироваться в пределах 0,5–0,7 нм, чтобы избежать роста островков.
3. Метод подложки: Подходит для тонких изолирующих пленок на проводящих подложках.
4. Метод внутреннего стандарта: Использует известные положения пиков химического состояния самого образца.
5. Метод параметров Оже: Полностью избегает заряда влияние и требует одновременного получения фотоэлектронных и оже-пиков.

Исследования показали, что отклонение энергии связи между различными лабораториями, использующими метод золотого сравнения, может достигать 0,15 эВ, что подчеркивает важность стандартизации метода.

---

Рекомендации по внедрению

Обработка образцов

Для образцов в виде порошка:

• Предпочтительно использовать проводящую ленту для фиксации
• Рассмотрите возможность использования металлической сетки для снижения поверхностного потенциала
• Изолированное заземление может снизить эффекты дифференциальной зарядки

Оптимизация параметров

Настройки электронной пушки:

• Энергия ≤ 10 эВ для снижения повреждений
• Проверка эффекта нейтрализации по полуширине пика Si 2p
• Сочетание источника ионов низкой энергии для повышения однородности нейтрализации