ASTM D5127-13
Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности
- Стандартный №
- ASTM D5127-13
- Дата публикации
- 2013
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM D5127-13(2018)
- Последняя версия
- ASTM D5127-13(2018)
- сфера применения
- 4.1 В этом руководстве рекомендовано качество воды, необходимое для предприятий электроники и микроэлектроники. Вода высокой чистоты необходима для предотвращения загрязнения продукции в процессе производства, поскольку загрязнение может привести к неприемлемо низкому выходу электронных устройств. 4.2. Диапазон чистоты воды определяется в соответствии с производственным процессом. Типы сверхчистой воды определяются в зависимости от ширины линии устройства. Во всех случаях рекомендации по качеству воды применяются в точках распределения. 4.3. Предельные значения примесей связаны с текущими спецификациями загрязнения и доступными аналитическими методами (выполняемыми либо в подходящей чистой лаборатории, либо с помощью онлайн-инструментов). Он-лайн и офф-лайн методы используются в соответствии с современной отраслевой практикой. Концентрация пробы может потребоваться для измерения содержания примесей на уровнях, указанных в таблице 1. ТАБЛИЦА 1 Требования к воде в точках распределения в электронной и полупроводниковой промышленностиA Параметр Тип E-1 Тип E-1.1 Тип E-1.2B Тип E-1.3B Тип E-2 Тип E-3 Тип E-4 Ширина линии (микрон) 1,0&#–0,5 0,35&#–0,25 0,18x2......
ASTM D5127-13 Ссылочный документ
- ASTM D1129 Стандартная терминология, касающаяся воды
- ASTM D1193 Стандартные спецификации для реагентной воды
- ASTM D1976 Стандартный метод определения элементов в воде с помощью атомно-эмиссионной спектроскопии с индуктивно-связанной аргоновой плазмой
- ASTM D2791 Стандартные методы испытаний для непрерывного определения натрия в воде
- ASTM D3919 Стандартная практика измерения микроэлементов в воде с помощью атомно-абсорбционной спектрофотометрии в графитовой печи
- ASTM D4191 Стандартный метод определения натрия в воде методом атомно-абсорбционной спектрофотометрии
- ASTM D4192 Стандартный метод определения калия в воде методом атомно-абсорбционной спектрофотометрии
- ASTM D4327 Стандартный метод определения анионов в воде методом ионной хроматографии с химическим подавлением
- ASTM D4453 Стандартная практика обращения с пробами сверхчистой воды
- ASTM D4517 Стандартный метод определения низкого содержания общего кремнезема в воде высокой чистоты методом беспламенной атомно-абсорбционной спектроскопии
- ASTM D5173 Стандартный метод испытаний для оперативного мониторинга углеродных соединений в воде путем химического окисления, окисления УФ-светом, обоих методов или высокотемпературного сжигания с последующим анализом газовой фазы NDIR или электролитической проводимости.
- ASTM D5196 Стандартное руководство для воды биомедицинского качества
- ASTM D5391 Стандартный метод определения электропроводности и удельного сопротивления проточной пробы воды высокой чистоты
- ASTM D5462 Стандартный метод испытаний для оперативного измерения низкого уровня растворенного кислорода в воде
- ASTM D5542 Стандартные методы определения следов анионов в воде высокой чистоты методом ионной хроматографии
- ASTM D5544 Стандартный метод испытаний для оперативного измерения остатка после испарения воды высокой чистоты
- ASTM D5673 Стандартный метод определения элементов в воде с помощью индуктивно-связанной плазмы8212; масс-спектрометрия
- ASTM D5996 Стандартный метод измерения содержания анионных примесей в воде высокой чистоты методом онлайн-ионной хроматографии
- ASTM D5997 Стандартный метод испытаний для оперативного мониторинга общего углерода, неорганического углерода в воде с помощью ультрафиолета, персульфатного окисления и определения проводимости мембраны
- ASTM F1094 Стандартные методы испытаний микробиологического мониторинга воды, используемой для обработки электронных и микроэлектронных устройств, с помощью крана-отборника прямого давления и методом предварительно стерилизованных пластиковых пакетов
ASTM D5127-13 История
- 2018 ASTM D5127-13(2018) Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности
- 2013 ASTM D5127-13 Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности
- 2012 ASTM D5127-12 Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности
- 2007 ASTM D5127-07 Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности
- 1999 ASTM D5127-99 Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности
