ASTM D5127-07
Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности

Стандартный №

ASTM D5127-07

Дата публикации

2007

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

состояние

быть заменен

быть заменен

ASTM D5127-12

Последняя версия

ASTM D5127-13(2018)

сфера применения

1.1 В этом руководстве представлены рекомендации по качеству воды, связанной с производством электроники и полупроводников. Описаны шесть классов воды, включая воду для линий шириной всего 0,09 микрона. Во всех случаях рекомендации касаются воды в точке распределения (POD).1.2 Вода используется для промывки и ополаскивания полупроводниковых компонентов в процессе производства. Вода также используется для операций очистки и травления, получения пара для окисления кремниевых поверхностей, изготовления фотошаблонов и нанесения люминесцентных материалов. Другие применения связаны с разработкой и изготовлением полупроводниковых устройств, тонкопленочных устройств, лазеров связи, светодиодов, фотодетекторов, печатных схем, устройств памяти, электронных ламп или электролитических устройств. 1.3 Потребители, нуждающиеся в воде качества, отличные от описанных здесь, следует сверяться с другими стандартами на воду, такими как Спецификация D 1193 и Руководство D 5196.1.4. Этот стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM D5127-07 Ссылочный документ

• ASTM D1129 Стандартная терминология, касающаяся воды
• ASTM D1193 Стандартные спецификации для реагентной воды
• ASTM D1976 Стандартный метод определения элементов в воде с помощью атомно-эмиссионной спектроскопии с индуктивно-связанной аргоновой плазмой
• ASTM D2791 Стандартные методы испытаний для непрерывного определения натрия в воде
• ASTM D3919  Стандартная практика измерения микроэлементов в воде с помощью атомно-абсорбционной спектрофотометрии в графитовой печи
• ASTM D4191 Стандартный метод определения натрия в воде методом атомно-абсорбционной спектрофотометрии
• ASTM D4192  Стандартный метод определения калия в воде методом атомно-абсорбционной спектрофотометрии
• ASTM D4327  Стандартный метод определения анионов в воде методом ионной хроматографии с химическим подавлением
• ASTM D4453 Стандартная практика обращения с пробами сверхчистой воды
• ASTM D4517 Стандартный метод определения низкого содержания общего кремнезема в воде высокой чистоты методом беспламенной атомно-абсорбционной спектроскопии
• ASTM D5173  Стандартный метод испытаний для оперативного мониторинга углеродных соединений в воде путем химического окисления, окисления УФ-светом, обоих методов или высокотемпературного сжигания с последующим анализом газовой фазы NDIR или электролитической проводимости.
• ASTM D5196 Стандартное руководство для воды биомедицинского качества
• ASTM D5391 Стандартный метод определения электропроводности и удельного сопротивления проточной пробы воды высокой чистоты
• ASTM D5462  Стандартный метод испытаний для оперативного измерения низкого уровня растворенного кислорода в воде
• ASTM D5542 Стандартные методы определения следов анионов в воде высокой чистоты методом ионной хроматографии
• ASTM D5544  Стандартный метод испытаний для оперативного измерения остатка после испарения воды высокой чистоты
• ASTM D5673  Стандартный метод определения элементов в воде с помощью индуктивно-связанной плазмы8212; масс-спектрометрия
• ASTM D5996 Стандартный метод измерения содержания анионных примесей в воде высокой чистоты методом онлайн-ионной хроматографии
• ASTM D5997 Стандартный метод испытаний для оперативного мониторинга общего углерода, неорганического углерода в воде с помощью ультрафиолета, персульфатного окисления и определения проводимости мембраны
• ASTM F1094 Стандартные методы испытаний микробиологического мониторинга воды, используемой для обработки электронных и микроэлектронных устройств, с помощью крана-отборника прямого давления и методом предварительно стерилизованных пластиковых пакетов

ASTM D5127-07 История

• 2018 ASTM D5127-13(2018) Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности
• 2013 ASTM D5127-13 Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности
• 2012 ASTM D5127-12 Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности
• 2007 ASTM D5127-07 Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности
• 1999 ASTM D5127-99 Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности