ASTM D5127-12
Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности

Стандартный №

ASTM D5127-12

Дата публикации

2012

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

состояние

быть заменен

быть заменен

ASTM D5127-13

Последняя версия

ASTM D5127-13(2018)

сфера применения

В этом руководстве рекомендовано качество воды, необходимое для предприятий электроники и микроэлектроники. Вода высокой чистоты необходима для предотвращения загрязнения продукции в процессе производства, поскольку загрязнение может привести к неприемлемо низкому выходу электронных устройств. Диапазон чистоты воды определяется в соответствии с технологическим процессом производства. Типы сверхчистой воды определяются в зависимости от ширины линии устройства. Во всех случаях рекомендации по качеству воды применяются в точках распределения. Предельные значения примесей связаны с текущими спецификациями загрязнения и доступными аналитическими методами (выполняемыми либо в подходящей чистой лаборатории, либо с помощью онлайн-приборов). Он-лайн и офф-лайн методы используются в соответствии с современной отраслевой практикой. Концентрация пробы может потребоваться для измерения содержания примесей на уровнях, указанных в таблице 1. ТАБЛИЦА 1 Требования к воде в точках распределения в электронной и полупроводниковой промышленностиA ПараметрТип E-1Тип E-1.1Тип E-1.2BТип E-1.3 BТип E-2Тип E-3Тип E-4 Ширина линии (микрон)1.0&#–0.50.35&#–0.250.18&#–0.090.065&#–0.0325.0&#& #x2013;1.0>5.0 Удельное сопротивление, 25°C (онлайн)18.118.218.218.216.5120.5 TOC (&#μг/л) (онлайн для &#< 10 частей на миллиард)5211503001000 Растворенный кислород в режиме онлайн (&#μг/л)2510310 Остаток в режиме онлайн после испарения (&#μг/л)10.50.1

ASTM D5127-12 История

• 2018 ASTM D5127-13(2018) Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности
• 2013 ASTM D5127-13 Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности
• 2012 ASTM D5127-12 Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности
• 2007 ASTM D5127-07 Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности
• 1999 ASTM D5127-99 Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности