ISO 16413:2013
Оценка толщины, плотности и ширины границы раздела тонких пленок методом рентгеновской рефлектометрии. Требования к инструментам, выравнивание и позиционирование, сбор данных, анализ данных и отчетность.

Стандартный №

ISO 16413:2013

Дата публикации

2013

Разместил

International Organization for Standardization (ISO)

состояние

быть заменен

быть заменен

ISO 16413:2020

Последняя версия

ISO 16413:2020

сфера применения

Настоящий международный стандарт устанавливает метод оценки толщины, плотности и ширины границы раздела однослойных и многослойных тонких плёнок толщиной приблизительно от 1 нм до 1 мкм методом рентгеновской рефлектометрии (РР). В этом методе используется монохроматический коллимированный пучок, сканирующий угол или вектор рассеяния. Аналогичные соображения применимы к использованию сходящегося пучка или сканирующего длины волны для параллельного сбора данных с помощью распределённого детектора, но эти методы здесь не описываются. Несмотря на то, что РР-спектр диффузного отражения упоминается и экспериментальные требования аналогичны, в настоящем документе он не рассматривается. Измерения могут проводиться на оборудовании различной конфигурации: от лабораторных приборов до рефлектометров на синхротронных пучках или автоматизированных систем, используемых в промышленности. Следует учитывать потенциальную нестабильность слоёв во время сбора данных, которая может привести к снижению точности измерений. Поскольку РР-спектр, проводимый на одной длине волны, не даёт информации о химическом составе слоя, следует соблюдать осторожность, чтобы избежать возможных загрязнений или реакций на поверхности образца. Точность результатов для наружных слоёв сильно зависит от любых изменений поверхности.

ISO 16413:2013 Ссылочный документ

• ISO 25178-2 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: площадь. Часть 2. Термины, определения и параметры текстуры поверхности.*， 2021-12-20 Обновление

ISO 16413:2013 История

• 2020 ISO 16413:2020 Оценка толщины, плотности и ширины границы раздела тонких пленок методом рентгеновской рефлектометрии. Требования к инструментам, выравнивание и позиционирование, сбор данных, анализ данных и отчетность.
• 2013 ISO 16413:2013 Оценка толщины, плотности и ширины границы раздела тонких пленок методом рентгеновской рефлектометрии. Требования к инструментам, выравнивание и позиционирование, сбор данных, анализ данных и отчетность.

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации