KS D ISO 16413:2021 Оценка толщины, плотности и ширины границы раздела тонких пленок методом рентгеновской рефлектометрии. Требования к инструментам, выравнивание и позиционирование, сбор данных, анализ данных и отчетность.
Данный стандарт описывает методы оценки толщины, плотности и ширины интерфейса пленок с использованием рентгеновского рефлектометра. В документе приводятся требования к оборудованию, калибровке и позиционированию, а также процедуры сбора данных, их анализа и представления результатов. Он содержит подробные инструкции по выполнению измерений и интерпретации полученных данных, что позволяет обеспечить точность и воспроизводимость результатов. Стандарт также включает рекомендации по подготовке образцов и условиям проведения экспериментов, что способствует стандартизации процесса измерений. Все указанные процедуры направлены на получение надежных и достоверных данных, необходимых для различных научных и промышленных приложений.
*** Обратите внимание: это описание может быть неточным, обратитесь к официальной документации.
KS D ISO 16413:2021 История
2021KS D ISO 16413:2021 Оценка толщины, плотности и ширины границы раздела тонких пленок методом рентгеновской рефлектометрии. Требования к инструментам, выравнивание и позиционирование, сбор данных, анализ данных и отчетность.