ASTM E2444-11e1
Терминология, относящаяся к измерениям, проводимым на тонких отражающих пленках

Стандартный №

ASTM E2444-11e1

Дата публикации

2011

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

состояние

быть заменен

быть заменен

ASTM E2444-11(2018)

Последняя версия

ASTM E2444-11(2018)

сфера применения

1.1 Настоящий стандарт состоит из терминов и определений, относящихся к измерениям, проводимым на тонких отражающих пленках, например, используемых в материалах микроэлектромеханических систем (МЭМС). В частности, эти условия связаны со стандартами Раздела 2, разработанными Комитетом E08 по усталости и разрушениям. К настоящему стандарту применима терминология E1823, касающаяся испытаний на усталость и разрушение.

1.2 Термины перечислены в алфавитном порядке.

ASTM E2444-11e1 Ссылочный документ

• ASTM E1823 Стандартная терминология, относящаяся к испытаниям на усталость и разрушение
• ASTM E2244 Стандартный метод испытаний для измерения длины тонких отражающих пленок в плоскости с использованием оптического интерферометра
• ASTM E2245 Стандартный метод испытаний для измерения остаточной деформации тонких отражающих пленок с использованием оптического интерферометра
• ASTM E2246 Стандартный метод испытаний для измерения градиента деформации тонких отражающих пленок с использованием оптического интерферометра

ASTM E2444-11e1 История

• 2018 ASTM E2444-11(2018) Стандартная терминология, относящаяся к измерениям, проводимым на тонких отражающих пленках
• 2011 ASTM E2444-11e1 Терминология, относящаяся к измерениям, проводимым на тонких отражающих пленках
• 2011 ASTM E2444-11 Терминология, относящаяся к измерениям, проводимым на тонких отражающих пленках
• 2005 ASTM E2444-05e1 Терминология, относящаяся к измерениям, проводимым на тонких отражающих пленках
• 2005 ASTM E2444-05 Терминология, относящаяся к измерениям, проводимым на тонких отражающих пленках

стандарты и спецификации