ASTM E2246-11e1
Стандартный метод испытаний для измерения градиента деформации тонких отражающих пленок с использованием оптического интерферометра

Стандартный №

ASTM E2246-11e1

Дата публикации

2011

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

состояние

быть заменен

быть заменен

ASTM E2246-11(2018)

Последняя версия

ASTM E2246-11(2018)

сфера применения

5.1 Значения градиента деформации помогают при проектировании и изготовлении устройств MEMS.

1.1. Этот метод испытаний охватывает процедуру измерения градиента деформации в тонких отражающих пленках. Это применимо только к пленкам, например, содержащимся в материалах микроэлектромеханических систем (МЭМС), изображения которых можно получить с помощью оптического интерферометра, также называемого интерферометрическим микроскопом. Измерения от кантилеверов, соприкасающихся с нижележащим слоем, не принимаются.

1.2 В этом методе испытаний используется бесконтактный оптический интерферометрический микроскоп с возможностью получения наборов топографических трехмерных данных. Оно проводится в лаборатории.

1.3. Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM E2246-11e1 Ссылочный документ

• ASTM E2244 Стандартный метод испытаний для измерения длины тонких отражающих пленок в плоскости с использованием оптического интерферометра
• ASTM E2245 Стандартный метод испытаний для измерения остаточной деформации тонких отражающих пленок с использованием оптического интерферометра
• ASTM E2444 Терминология, относящаяся к измерениям, проводимым на тонких отражающих пленках
• ASTM E2530 Стандартная практика калибровки Z-увеличения атомно-силового микроскопа на субнанометровых уровнях смещения с использованием моноатомных ступеней Si(111)

ASTM E2246-11e1 История

• 2018 ASTM E2246-11(2018) Стандартный метод испытаний для измерения градиента деформации тонких отражающих пленок с использованием оптического интерферометра
• 2011 ASTM E2246-11e1 Стандартный метод испытаний для измерения градиента деформации тонких отражающих пленок с использованием оптического интерферометра
• 2011 ASTM E2246-11 Стандартный метод испытаний для измерения градиента деформации тонких отражающих пленок с использованием оптического интерферометра
• 2005 ASTM E2246-05 Стандартный метод испытаний для измерения градиента деформации тонких отражающих пленок с использованием оптического интерферометра
• 2002 ASTM E2246-02 Стандартный метод испытаний для измерения градиента деформации тонких отражающих пленок с использованием оптического интерферометра

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации