Настоящий стандарт определяет основные параметры, технические требования, методы испытаний, правила контроля, маркировку, упаковку, транспортирование и хранение оборудования для нанесения покрытий вакуумным напылением. Настоящий стандарт распространяется на оборудование для нанесения покрытий вакуумным напылением с давлением в диапазоне 1×10 Па ~ 1×10 Па.
JB/T 8945-2010 Ссылочный документ
GB/T 11164-1999 Общая спецификация установки вакуумного нанесения покрытия