Настоящий стандарт определяет модель и основные параметры оборудования для нанесения покрытий вакуумным напылением, технические требования, методы испытаний, правила контроля, знаки, упаковку, транспортирование и хранение и т. д. Настоящий стандарт применим к оборудованию для нанесения покрытий методом вакуумного напыления с давлением в диапазоне 1×10^(-4)~5×10^(-3)Па.