Настоящий стандарт определяет технические требования, методы испытаний, правила проверки, знаки, упаковку, транспортировку и хранение оборудования для вакуумного нанесения покрытий. Настоящий стандарт применим к оборудованию для вакуумного нанесения покрытий для испарения, напыления и ионного покрытия (далее именуемого «оборудование») с давлением в диапазоне 10-4~10-3Па.
GB/T 11164-1999 История
2011GB/T 11164-2011 Общая спецификация установки вакуумного нанесения покрытия
1999GB/T 11164-1999 Общая спецификация установки вакуумного нанесения покрытия