GB/T 24581-2009
Метод испытаний низкотемпературного ИК-Фурье анализа монокристаллического кремния на наличие примесей Ⅲ-Ⅴ (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 24581-2009
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2009
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2022-10
- быть заменен
- GB/T 24581-2022
- Последняя версия
- GB/T 24581-2022
- сфера применения
- Настоящий стандарт применим для обнаружения электроактивных элементов бора (B), фосфора (P), мышьяка (As), алюминия (Al), сурьмы (Sb) и галлия (Ga) в отдельных кремниевых продуктах. Диапазон концентраций каждой примеси или легирующей примеси электроактивного элемента в кремнии, к которому применяется настоящий стандарт, составляет (0,01×10～5,0×1O)a. Концентрацию каждой примеси или легирующей добавки можно определить по закону Бера, а для каждого элемента указан калибровочный коэффициент.
GB/T 24581-2009 Ссылочный документ
- ASTM E131 Стандартные определения терминов и символов, относящихся к молекулярной спектроскопии
- ASTM E168 Стандартные методы общих методов инфракрасного количественного анализа
- ASTM E177 Стандартная практика использования терминов «точность» и «предвзятость» в методах испытаний ASTM
- ASTM E275 Стандартная практика описания и измерения характеристик спектрофотометров ультрафиолетового, видимого и ближнего инфракрасного диапазона
- GB/T 13389 Практика преобразования между удельным сопротивлением и плотностью легирующей примеси для кремния, легированного бором, фосфором и мышьяком.*， 2014-12-31 Обновление
- GB/T 14264 Терминология полупроводниковых материалов*， 2024-04-25 Обновление
- GB/T 1558 Метод определения инфракрасного поглощения содержания замещенного углерода в кремнии*， 2023-12-28 Обновление
- GB/T 6618 Метод испытания толщины и изменения общей толщины пластинок кремния
GB/T 24581-2009 История
- 2022 GB/T 24581-2022 Метод определения содержания примесей Ⅲ и Ⅴ в монокристаллическом кремнии — метод низкотемпературного ИК-Фурье анализа.
- 2009 GB/T 24581-2009 Метод испытаний низкотемпературного ИК-Фурье анализа монокристаллического кремния на наличие примесей Ⅲ-Ⅴ
Специальные темы по стандартам и нормам
Спектральные примеси
/ ИК-спектроскопия
ИК-спектроскопия
ИК-спектроскопия?
, ИК-спектроскопия
"ИК-спектроскопия
Инфракрасный + базовый уровень
Спектральный спектр пропускания
Метод инфракрасного испытания с преобразованием Фурье
Пик примеси инфракрасного спектра
Пик примеси инфракрасного спектра
Два метода FT-IR
стандарты и спецификации
ASTM F1188-02 Стандартный метод определения содержания атомарного кислорода в кремнии методом инфракрасного поглощения с короткой базовой линией
ASTM C1842-16 Стандартный метод испытаний для анализа бора и кремния в гексафториде урана с помощью инфракрасной спектроскопии с преобразованием Фурье (FTIR
ASTM F120-88 Свод правил по определению концентраций примесей в монокристаллических полупроводниковых материалах методом инфракрасной абсорбционной спектроскопии
ASTM C1842-24 Стандартный метод тестирования для анализа бора и силика в уране шестифториде с использованиемFourier-transform инфракрасного спектроскопии (FTIR
ASTM C1441-13 Стандартный метод испытаний для анализа хладагента 114, а также других углеродсодержащих и фторсодержащих соединений в гексафториде урана с помощью инфракрасной
ASTM C1441-04 Стандартный метод испытаний для анализа хладагента 114, а также других углеродсодержащих и фторсодержащих соединений в гексафториде урана с помощью инфракрасной
ASTM F2139-01 Стандартный метод испытаний для измерения концентрации азота в кремниевых подложках
ASTM F1389-00 Стандартные методы испытаний для фотолюминесцентного анализа монокристаллического кремния на наличие примесей III-V
ASTM F1619-95(2000 Стандартный метод измерения содержания межузельного кислорода в кремниевых пластинах методом инфракрасной абсорбционной спектроскопии с p-поляризованным
ASTM D7653-10 Стандартный метод испытаний для определения следовых газовых примесей в водородном топливе методом инфракрасной спектроскопии с преобразованием Фурье (FTIR