GB/T 1558-2023
Метод определения инфракрасного поглощения содержания замещенного углерода в кремнии (Англоязычная версия)

Стандартный №: GB/T 1558-2023
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2023
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 1558-2023
заменять: GB/T 1558-2009

сфера применения: В настоящем документе описывается метод определения содержания замещающих атомов углерода в кремнии с помощью инфракрасного поглощения. Настоящий документ применим к испытанию содержания замещающих атомов углерода в монокристаллах кремния p-типа с удельным сопротивлением более $3~\Omega·cm$ и монокристаллах кремния n-типа с удельным сопротивлением более $1~Ω·cm$ (диапазон испытаний при комнатной температуре: от $5×10^{15}~см^{-3}$ до максимальной растворимости атомов углерода в кремнии в твердом состоянии; диапазон испытаний при температуре ниже $80K$: не менее $5×10^{14}~см^{-3}$).

GB/T 1558-2023 Ссылочный документ

GB/T 14264 Терминология полупроводниковых материалов*， 2024-04-25 Обновление
GB/T 29057 Практика оценки стержней из поликристаллического кремния методом зонного вытягивания и спектроскопического анализа.
GB/T 35306 ОПРЕДЕЛЕНИЕ СОДЕРЖАНИЯ УГЛЕРОДА И КИСЛОРОДА В МОНОКРИСТАЛЛЕ КРЕМНИЯ Низкотемпературная инфракрасная спектроскопия с Фурье-преобразованием
GB/T 8170 Правила округления числовых значений и выражения и определения предельных значений
GB/T 8322 Молекулярно-абсорбционная спектрометрия. Терминология.

2023 GB/T 1558-2023 Метод определения инфракрасного поглощения содержания замещенного углерода в кремнии
2009 GB/T 1558-2009 Метод определения содержания замещающего атомного углерода кремния методом инфракрасного поглощения
1997 GB/T 1558-1997 Метод определения содержания замещающего атомарного углерода в кремнии методом инфракрасного поглощения