ASTM F950-98
Стандартный метод испытаний для измерения глубины кристаллического повреждения механически обработанной поверхности среза кремния путем угловой полировки и травления дефектов

Стандартный №

ASTM F950-98

Дата публикации

1998

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

состояние

быть заменен

быть заменен

ASTM F950-02

Последняя версия

ASTM F950-02

сфера применения

1.1 Этот метод испытаний описывает методику измерения глубины повреждения на поверхности кремниевых пластин или под ней перед любой термообработкой пластины. Такие повреждения возникают в результате механической обработки поверхности, такой как распиловка, притирка, шлифовка, пескоструйная обработка и дробеструйная обработка.

1.2 Основное применение этого метода испытаний заключается в определении глубины повреждения неполированной задней поверхности, к которой намеренно были добавлены рабочие повреждения.

1.3. Измерение является разрушающим, поскольку образец изготавливается из куска кремниевой пластины.

1.4 С помощью этого метода глубина повреждения может быть измерена в диапазоне от 5,0 до 200 мкм.

1.5 В целях оценки план отбора проб должен быть согласован между сторонами, участвующими в испытании, до начала испытаний.

1.6 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Конкретные указания на опасность приведены в разделе 9.

ASTM F950-98 Ссылочный документ

• ASTM D1193 Стандартные спецификации для реагентной воды*， 1999-05-14 Обновление
• ASTM E122 Стандартная практика расчета размера выборки для оценки с заданной допустимой погрешностью среднего значения характеристики партии или процесса*， 2000-10-10 Обновление
• ASTM F532 Метод испытания для измерения ширины оптических дефектов поверхности
• ASTM F672 Стандартный метод испытаний для измерения профилей удельного сопротивления перпендикулярно поверхности кремниевой пластины с использованием зонда сопротивления растеканию

ASTM F950-98 История

• 2002 ASTM F950-02 Метод измерения глубины повреждения обработанной поверхности кремниевой пластины
• 1998 ASTM F950-98 Стандартный метод испытаний для измерения глубины кристаллического повреждения механически обработанной поверхности среза кремния путем угловой полировки и травления дефектов

стандарты и спецификации