Этот стандарт описывает методы определения поперечного разрешения при использовании спектроскопии электронной спирали и спектроскопии X-лучей фотоэлектронов для анализа поверхности. Он предоставляет общие положения, технические требования и процедуры, необходимые для выполнения измерений. Стандарт устанавливает подходы к оценке точности и воспроизводимости результатов, а также требования к оборудованию и калибровке. В нем также рассматриваются методы обработки данных и интерпретации полученных результатов. Стандарт направлен на обеспечение согласованности и сравнения результатов измерений, полученных различными лабораториями. Он включает в себя требования к подготовке образцов и условиям проведения испытаний.
*** Обратите внимание: это описание может быть неточным, обратитесь к официальной документации.