BS ISO 18516:2006 Химический анализ поверхности. Электронная оже-спектроскопия и рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Определение латерального разрешения.
ISO 18516:2006 описывает три метода измерения латерального разрешения, достижимого в электронных оже-спектрометрах и рентгеновских фотоэлектронных спектрометрах при определенных настройках. Метод прямой кромки подходит для инструментов, в которых ожидается, что поперечное разрешение будет больше 1 микрометра. Метод сетки подходит, если ожидается, что поперечное разрешение будет менее 1 микрометра, но более 20 нм. Метод золотых островков подходит для приборов, в которых ожидается, что поперечное разрешение будет менее 50 нм. В Приложениях A, B и C представлены иллюстративные примеры измерения поперечного разрешения.
BS ISO 18516:2006 История
0000 BS ISO 18516:2006(2010)
2006BS ISO 18516:2006 Химический анализ поверхности. Электронная оже-спектроскопия и рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Определение латерального разрешения.