Данный стандарт регулирует методы определения поперечного разрешения, площади анализа и площади образца для аналитических приборов, используемых в поверхностном химическом анализе. Он охватывает техники аугер-электронной спектроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. В документе приведены подробные процедуры и рекомендации по проведению измерений, а также описание оборудования, необходимого для выполнения анализа. Стандарт направлен на обеспечение точности и воспроизводимости результатов, получаемых при использовании указанных методов. Он также включает информацию о калибровке и проверке оборудования, что позволяет обеспечить надежность и соответствие получаемых данных установленным критериям. В тексте стандарта описаны различные подходы к определению ключевых параметров, что способствует улучшению качества аналитических измерений.
*** Обратите внимание: это описание может быть неточным, обратитесь к официальной документации.