Эта часть ISO 14644 определяет методы испытаний для определенной классификации чистоты частиц в воздухе и для характеристики характеристик чистых помещений и чистых зон. Испытания производительности определены для двух типов чистых помещений и чистых зон: с однонаправленным потоком и с неоднонаправленным потоком, в трех возможных состояниях присутствия: в заводском состоянии, в состоянии покоя и в рабочем состоянии. В методах испытаний рекомендуются испытательное оборудование и процедуры испытаний для определения рабочих параметров.
ANSI/IEST/ISO 14644-3:2005 История
2006ANSI/IEST/ISO 14644-3:2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний.