Эта часть ISO 14644 определяет методы испытаний для определенной классификации чистоты частиц в воздухе и для характеристики характеристик чистых помещений и чистых зон. Испытания производительности определены для двух типов чистых помещений и чистых зон: с однонаправленным потоком и с неоднонаправленным потоком, в трех возможных состояниях присутствия: в заводском состоянии, в состоянии покоя и в рабочем состоянии. В методах испытаний рекомендуются испытательное оборудование и процедуры испытаний для определения рабочих параметров. Если на метод испытаний влияет тип чистого помещения или чистой зоны, предлагаются альтернативные процедуры. Для некоторых испытаний рекомендуется использовать несколько различных методов и устройств с учетом различных соображений конечного использования. Альтернативные методы, не включенные в данную часть ISO 14644, могут использоваться, если они основаны на соглашении между потребителем и поставщиком. Альтернативные методы не обязательно обеспечивают эквивалентные измерения. Эта часть ISO 14644 не применима к измерению продуктов или процессов в чистых помещениях или изолирующих устройствах.
EN ISO 14644-3:2005 Ссылочный документ
ISO 14644-1:1999 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха
ISO 14644-2:2000 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Спецификации для испытаний и мониторинга для подтверждения постоянного соответствия ISO 14644-1.
ISO 14644-4:2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 4. Проектирование, строительство и запуск.
ISO 7726:1998 Эргономика тепловой среды - Приборы для измерения физических величин
EN ISO 14644-3:2005 История
1970EN ISO 14644-3:2019 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний ISO 14644-3: 2005.
2005EN ISO 14644-3:2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний ISO 14644-3: 2005.