Настоящий стандарт определяет классификацию продукции, терминологию, технические требования, методы испытаний, правила контроля, знаки, упаковку, транспортировку, хранение и т. д. пластин кремния для резки и шлифования монокристаллов (сокращенно кремниевых пластин). Настоящий стандарт распространяется на круглые кремниевые пластины, полученные путем резки и двустороннего шлифования из монокристаллов кремния, легированных методом Чохральского, зонной плавки и нейтронной трансмутации. Продукция в основном используется для изготовления полупроводниковых устройств, таких как транзисторы и выпрямительные устройства, или для дальнейшей переработки в полированные пластины.
GB/T 12965-2005 Ссылочный документ
GB/T 1550 Методы испытаний типа проводимости примесных полупроводниковых материалов*, 2018-12-28 Обновление
GB/T 1552 Методика измерения удельного сопротивления монокристаллического кремния и германия коллинеарной четырехзондовой решеткой
GB/T 1554 Метод испытания кристаллографического совершенства кремния методами избирательного травления*, 2009-10-30 Обновление
GB/T 1555 Метод определения кристаллической ориентации монокристалла полупроводника*, 2023-08-06 Обновление
GB/T 2828.1 Процедура проверки путем подсчета выборки, часть 1: План выборочного контроля по партиям, полученный по пределу приемочного качества (AQL)*, 2013-02-15 Обновление
GB/T 12965-2005 История
2018GB/T 12965-2018 Монокристаллический кремний в виде нарезанных и притертых пластин.
2005GB/T 12965-2005 Монокристаллический кремний, нарезанный ломтиками и притертый ломтик
1996GB/T 12965-1996 Монокристаллический кремний в виде нарезанных и притертых срезов.