Этот стандарт определяет классификацию продукции, технические требования, методы испытаний, правила проверки, маркировку, упаковку, транспортировку и хранение режущих и шлифовальных пластин монокристалла кремния (сокращенно кремниевых пластин). Настоящий стандарт распространяется на круглые кремниевые пластины, изготовленные по методу Чохральского, монокристаллы кремния, легированные нейтронной трансмутацией, зонной плавкой и нейтронами после резки и двустороннего шлифования. Диаметр кремниевых пластин колеблется от 50,8 до 125 мм. Продукты используются для изготовления полупроводниковых устройств, таких как транзисторы и выпрямительные устройства, или для дальнейшей переработки в полированные кремниевые пластины.
GB/T 12965-1996 История
2018GB/T 12965-2018 Монокристаллический кремний в виде нарезанных и притертых пластин.
2005GB/T 12965-2005 Монокристаллический кремний, нарезанный ломтиками и притертый ломтик
1996GB/T 12965-1996 Монокристаллический кремний в виде нарезанных и притертых срезов.