GB/T 41073-2021
Химический анализ поверхности. Электронная спектроскопия. Минимальные требования к отчетности для подбора пиков в рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 41073-2021

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2021

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 41073-2021

сфера применения

Интерпретация основного содержания стандарта

GB/T41073-2021 эквивалентен международному стандарту ISO19830:2015, который устанавливает минимальные требования к представлению результатов подгонки пиков рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (XPS). ESCALAB 250Xi, энергия 20 эВ Источник рентгеновского излучения Материал анода (Al/Mg), состояние монохроматизации Al Kα, монохроматизированное пятно 500 мкм Сбор данных Размер шага энергии, максимальное количество каналов Размер шага 0,1 эВ, 6839 отсчетов

---

Основные технические характеристики для подгонки пиков

Параметры подгонки одного спектра

Следующие параметры подгонки и их ограничения должны быть полностью представлены:

1. Обработка фона: Тип и диапазон фона Ширли/Тугарда
2. Функция формы пика: Коэффициент смешивания Гаусса-Лоренца (например, GL(30))
3. Ограничения: Фиксированная/коррелированная FWHM, положение пика и т. д.
4. Остаточный спектр: должен быть предоставлен вместе с результатами подгонки

Подгонка нескольких спектров

Особое внимание следует уделить таким сценариям, как профилирование глубины:

• Выбор опорного спектра (обычно средний слой)
• Метод распространения параметров (фиксированный/плавающий/коррелированный)
• Требования к динамической корректировке фона (для предотвращения влияния химических shift)

---

Рекомендации по внедрению

Меры предосторожности при эксплуатации

Предложения по практическому применению:

• Предпочтительно использовать динамическую подгонку фона
• Метод компенсации заряда должен быть указан для изолирующих образцов
• Приведенное значение χ² должно контролироваться в диапазоне 0,7–1,3

Анализ эволюции стандарта

Настоящий стандарт впервые преобразует ISO19830 в национальный стандарт. Основные технические изменения:

1. Добавлен раздел «Нормативные ссылки»
2. Уточнены определения китайских терминов
3. Добавлены типичные примеры применения в приложение