В этом документе указан разрушающий метод измерения локальной толщины металлических и других неорганических покрытий путем исследования поперечных сечений с помощью сканирующего электронного микроскопа (СЭМ). Метод применим для толщин до нескольких миллиметров, но для покрытий такой толщины обычно практичнее использовать световой микроскоп (см. ISO 1463). Нижний предел толщины зависит от достигнутой неопределенности измерения (см. раздел 10). П р и м е ч а н и е — Этот метод можно также использовать для органических слоев, если они не повреждены ни при подготовке поперечного сечения, ни при воздействии электронного луча во время визуализации.