В настоящем документе указаны фирменное наименование, технические требования, методы испытаний, правила контроля, маркировка, упаковка, транспортирование, хранение, сопроводительная документация и форма заказа монокристаллического фосфата индия.Настоящий документ распространяется на производство монокристаллических слитков фосфата индия и Монокристаллические полированные пластины фосфида индия для оптоэлектронных и микроэлектронных приборов.
GB/T 20230-2022 Ссылочный документ
GB/T 13388 Способ измерения кристаллографической ориентации плоских поверхностей на пластинах и пластинах монокристаллического кремния рентгеновскими методами
GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 1555 Метод определения кристаллической ориентации монокристалла полупроводника*, 2023-08-06 Обновление
GB/T 19921 Метод испытания частиц на полированных поверхностях кремниевых пластин
GB/T 26067 Стандартный метод испытаний размеров надрезов на кремниевых пластинах
GB/T 2828.1-2012 Процедура проверки путем подсчета выборки, часть 1: План выборочного контроля по партиям, полученный по пределу приемочного качества (AQL)
GB/T 32278 Метод испытания плоскостности одиночной пластины карбида кремния