BS ISO 19318:2021
Отслеживаемые изменения. Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Отчетность о методах, используемых для контроля заряда и коррекции заряда

Стандартный №: BS ISO 19318:2021
Дата публикации: 2021
Разместил: British Standards Institution (BSI)
Последняя версия: BS ISO 19318:2021
заменять: BS ISO 19318:2004

сфера применения

Анализ основного содержания стандарта

BS ISO 19318:2021, как международный стандарт для анализа XPS изолирующих образцов, фокусируется на стандартизации требований к отчетности о методах контроля и коррекции заряда при измерениях с помощью рентгеновского фотоэлектронного спектрометра. По сравнению с версией 2004 года, основные обновления:

Реорганизована структура отчета главы 7 «Информация о контроле заряда»
Улучшено описание технологии контроля заряда в Приложении A
Добавлено руководство по оценке повреждения образца

Сравнение основных технических требований

Элементы	Версия 2004 года	Версия 2021 года
Проверка эффективности контроля заряда	Требуется сообщать только значение FWHM	Добавлены требования к сравнению проводящих образцов
Оценка повреждения образца	Нет четкого требования	Необходимо записать процесс настройки параметров нейтрализации
Метод сравнения по углероду	Краткое описание	Добавить предупреждение о флуктуации энергии 2 эВ

Суть метода управления зарядом

Характеристика применения пушки нейтрализации электронов

Стандарт рекомендует использовать низкоэнергетический электронный луч ≤10 эВ, и необходимо записать следующее:

Напряжение катода (типичное значение -5 В)
Ток эмиссии (около 20 мА)
Расстояние между корпусом пушки и образцом (типичное значение 5 см)

В В ходе практического применения было обнаружено, что использование полностью изолированного заземления для образцов наночастиц может снизить эффект дифференциальной зарядки.

Сравнение схем коррекции заряда

Метод	Точность	Применимые сценарии	Ограничения
Эталонный метод определения загрязнения углеродом	±0,5 эВ	Обычный изолятор	Необходимо проверить химическое состояние углерода
Метод осаждения золота	±0,2 эВ	Плоская поверхность	Возможно образование островных структур
Метод сравнения подложки	±0,3 эВ	Образцы тонкой пленки	Требуется выравнивание энергетических зон интерфейса

Предложения по реализации

Рекомендуемые решения для различных типов образцов:

Полимерные материалы: Предпочтительным является внутренний углеродный эталон (Раздел A.3.6)
Образцы порошка: Объедините пушку электронной нейтрализации с УФ-облучением (A.2.2+A.2.3)
Система тонкой пленки/интерфейса: Используйте метод параметров Оже, чтобы избежать эффекта зарядки (Раздел A.5)

Особое примечание: В стандарте подчеркивается, что для радиационно-чувствительных материалов Для оценки ущерба следует провести быстрое сравнение результатов сканирования до и после получения данных.

BS ISO 19318:2021 Ссылочный документ

ISO 15472 Химический анализ поверхности - Рентгеновские фотоэлектронные спектрометры - Калибровка энергетических шкал
ISO 18115-1 Химический анализ поверхности. Словарь. Часть 1. Общие термины и термины, используемые в спектроскопии.*， 2023-06-01 Обновление

BS ISO 19318:2021 История

2021 BS ISO 19318:2021 Отслеживаемые изменения. Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Отчетность о методах, используемых для контроля заряда и коррекции заряда
2005 BS ISO 19318:2004 Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Отчетность о методах, используемых для контроля заряда и коррекции заряда

Отслеживаемые изменения. Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Отчетность о методах, используемых для контроля заряда и коррекции заряда

Специальные темы по стандартам и нормам

подготовка проб для рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии Коррекция энергетического спектра Как исправить заряд

стандарты и спецификации