GB/T 14601-1993
Газы для электронной промышленности. Аммиак высокой чистоты (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 14601-1993
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 1993
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2010-05
- быть заменен
- GB/T 14601-2009
- Последняя версия
- GB/T 14601-2009
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет технические требования, методы испытаний, правила проверки и требования к упаковке, маркировке, транспортировке, хранению и безопасности продукции для газообразного аммиака высокой чистоты, используемого в электронной промышленности. Настоящий стандарт распространяется на бутилированный аммиак высокой чистоты. Этот продукт в основном используется в полупроводниковой промышленности, химическом осаждении нитрида кремния из паровой фазы, а также может использоваться для азотирования кремния или оксида кремния. Молекулярная формула: NH3. Относительная молекулярная масса: 17,031 (согласно международной относительной атомной массе 1989 г.).
GB/T 14601-1993 История
- 2009 GB/T 14601-2009 Газ для электронной промышленности.Аммиак
- 1993 GB/T 14601-1993 Газы для электронной промышленности. Аммиак высокой чистоты
