Настоящий стандарт устанавливает технические требования, методы испытаний и требования к упаковке, маркировке, транспортировке, хранению и безопасности продукции для аммиака. Настоящий стандарт распространяется на полупроводниковую промышленность, химическое осаждение из паровой фазы нитрида кремния и нитрида галлия, а также может использоваться для нитрида кремния или оксида кремния.
GB/T 14601-2009 Ссылочный документ
GB 14193-2009 Правила наполнения баллонов сжиженным газом