Настоящий стандарт определяет общие термины вакуумной технологии, термины вакуумных насосов, термины вакуумметров, термины вакуумных систем, термины обнаружения утечек вакуума, термины технологии вакуумного нанесения покрытий, термины вакуумной сушки, термины анализа поверхности и термины вакуумной металлургии. Настоящий стандарт распространяется на подготовку технической документации, стандартов, книг и руководств и других сопутствующих материалов по вакуумной технике.