Настоящий стандарт определяет общие термины вакуумной технологии, вакуумный насос и связанные с ним термины, термины «вакуумметр», «вакуумная система» и связанные с ними термины, «обнаружение утечек» и связанные с ними термины, технический термин «вакуумное покрытие», термины «вакуумная сушка» и «лиофилизация», технический термин «анализ поверхности» и «вакуум». металлургические термины. Настоящий стандарт распространяется на подготовку технической документации, стандартов, книг и руководств и других сопутствующих материалов по вакуумной технике.