GB/T 14142-1993
Метод испытаний поверхностного сопротивления эпитаксиальных, диффузных и ионно-имплантированных слоев кремния с использованием коллинеарной четырехзондовой установки (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 14142-1993
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 1993
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2018-04
- быть заменен
- GB/T 14142-2017
- Последняя версия
- GB/T 14142-2017
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет методы отображения методом химического травления и контроля кристаллических дефектов эпитаксиального слоя кремния с помощью металлографического микроскопа. Настоящий стандарт применим для измерения дефектов упаковки и плотности дислокаций в эпитаксиальном слое кремния. Толщина эпитаксиального слоя кремния должна быть более 2 мкм. Диапазон измерения составляет 010000см2.
GB/T 14142-1993 История
- 2017 GB/T 14142-2017 Метод испытаний кристаллографического совершенства эпитаксиальных слоев кремния — метод травления
- 1993 GB/T 14142-1993 Метод испытаний поверхностного сопротивления эпитаксиальных, диффузных и ионно-имплантированных слоев кремния с использованием коллинеарной четырехзондовой установки
