GB/T 14142-2017
Метод испытаний кристаллографического совершенства эпитаксиальных слоев кремния — метод травления (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 14142-2017

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2017

Разместил

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

Последняя версия

GB/T 14142-2017

заменять

GB/T 14142-1993

GB/T 14142-2017 История

• 2017 GB/T 14142-2017 Метод испытаний кристаллографического совершенства эпитаксиальных слоев кремния — метод травления
• 1993 GB/T 14142-1993 Метод испытаний поверхностного сопротивления эпитаксиальных, диффузных и ионно-имплантированных слоев кремния с использованием коллинеарной четырехзондовой установки