EN ISO 25178-603:2013 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 603. Номинальные характеристики бесконтактных инструментов (интерферометрическая микроскопия с фазовым сдвигом)
Эта часть ISO 25178 определяет метрологические свойства измерительных приборов фазосдвигающей интерферометрической (PSI) микроскопии для измерения профилей поверхности и измерения свойств поверхности.
EN ISO 25178-603:2013 История
2013EN ISO 25178-603:2013 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 603. Номинальные характеристики бесконтактных инструментов (интерферометрическая микроскопия с фазовым сдвигом)
2009EN ISO 25178-603:2009 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 603. Номинальные характеристики бесконтактных инструментов (фазосдвигающая интерферометрическая микроскопия)