NF E05-031-603*NF EN ISO 25178-603:2013 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: площадь. Часть 603. Номинальные характеристики бесконтактных инструментов (интерферометрическая микроскопия с фазовым сдвигом)
2013NF E05-031-603*NF EN ISO 25178-603:2013 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: площадь. Часть 603. Номинальные характеристики бесконтактных инструментов (интерферометрическая микроскопия с фазовым сдвигом)