EN ISO 14644-10:2013 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 10. Классификация чистоты поверхностей по концентрации химических веществ.
Эта часть серии стандартов ISO 14644 определяет систему классификации чистоты поверхностей в чистых помещениях в отношении присутствующих химических соединений или элементов (включая молекулы, ионы, атомы и частицы). Эта часть серии стандартов ISO 14644 применяется ко всем твердым поверхностям в чистых помещениях и связанных с ними зонах чистых помещений, таких как: Б. Стены, потолки, полы, рабочие зоны, инструменты, оборудование и приспособления. ПРИМЕЧАНИЕ 1. При применении настоящей части ISO 14644 учитываются только химические свойства частиц. Физические свойства частиц не принимаются во внимание, и эта часть серии стандартов ISO 14644 не рассматривает взаимодействие между загрязнением и поверхностью. ПРИМЕЧАНИЕ 2. Эта часть серии ISO 14644 не охватывает процесс образования загрязнений и зависящие от времени воздействия (осаждение, седиментация, старение и т. д.) или зависящие от процесса действия, такие как: Б. Транспортировка и обработка. Он также не содержит каких-либо руководящих указаний по процедурам статистического контроля качества для обеспечения соответствия.
EN ISO 14644-10:2013 Ссылочный документ
ISO 14644-1:1999 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха
ISO 14644-6:2007 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 6. Словарь
EN ISO 14644-10:2013 История
2022EN ISO 14644-10:2022 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 10. Оценка чистоты поверхностей на предмет химического загрязнения (ISO 14644-10:2022)
2013EN ISO 14644-10:2013 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 10. Классификация чистоты поверхностей по концентрации химических веществ.