EN ISO 14644-10:2022 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 10. Оценка чистоты поверхностей на предмет химического загрязнения (ISO 14644-10:2022)
Этот документ устанавливает соответствующие процессы тестирования для определения чистоты поверхностей в чистых помещениях на предмет присутствия химических соединений или элементов (включая молекулы, ионы, атомы и частицы). Этот документ применим ко всем твердым поверхностям в чистых помещениях и связанных с ними контролируемых средах, таких как стены, потолки, полы, рабочие поверхности, инструменты, оборудование и устройства. ПРИМЕЧАНИЕ 1. Для целей настоящего документа учитываются только химические характеристики частиц. Физические свойства частицы не учитываются, и этот документ не рассматривает взаимодействие между загрязнением и поверхностью. ПРИМЕЧАНИЕ 2. Этот документ не включает процесс образования загрязнения или любые зависящие от времени воздействия (например, осаждение, седиментация, старение) или зависящие от процесса действия, такие как транспортировка и обработка. Он также не включает в себя руководство по методам статистического контроля качества для обеспечения соответствия.
EN ISO 14644-10:2022 История
2022EN ISO 14644-10:2022 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 10. Оценка чистоты поверхностей на предмет химического загрязнения (ISO 14644-10:2022)
2013EN ISO 14644-10:2013 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 10. Классификация чистоты поверхностей по концентрации химических веществ.